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ウルトラ・クリーン化技術 : 三菱電機/東北大学の挑戦

赤堀正幸著. -- ダイヤモンド社, 1988. <TW60086042>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 有瀬館 B2第2書庫（本館5階移 528.3/AKA/U 901304733 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 有瀬館
配置場所 B2第2書庫（本館5階移
請求記号 528.3/AKA/U
資料ID 901304733
禁帯出区分
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 ウルトラ・クリーン化技術 : 三菱電機/東北大学の挑戦 / 赤堀正幸著
ウルトラ クリーンカ ギジュツ : ミツビシ デンキ / トウホク ダイガク ノ チョウセン
出版・頒布事項 東京 : ダイヤモンド社 , 1988.4
形態事項 6, 230p ; 19cm
巻号情報
ISBN 4478240434
学情ID BN02559589
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 赤堀, 正幸(1940-)||アカホリ, マサユキ <AU60042505>
分類標目 建築設備．設備工学 NDC8:528.2
分類標目 科学技術 NDLC:NA266
件名標目等 空気 ーー 浄化||クウキ -- ジョウカ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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